熱氣注入源-TGI
氧原子源-OBS
氫原子源-HABS
熱裂解源-TCC
硫化物閥式裂解源-VSS
砷元素閥式裂解源-VAC
硒化物閥式裂解源-VSC
腐蝕性元素閥式裂解源-V
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